製品詳細

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ふっ素樹脂製
熱交換器

特長・仕様

型式

HENシリーズ

タイプ

チューブデバイスタイプ

製品情報

継手とコイルチューブの組み合わせによるオールふっ素樹脂製のコンパクトな熱交換器です。
狭い配管内で簡単に薬液の温度調整ができます。

主要構成材料

PFA、PTFE

主要用途

半導体製造装置等、高いクリーン度・耐薬品性が要求される箇所

仕様・スペック情報

有効伝熱面積:0.05M2
最大薬液流量:100ML/min
最高薬液冷却前温度:200℃
熱交換器接続口:スーパー300タイプピラーフィッティング™

カテゴリ

ふっ素樹脂製品/バルブ・熱交換器

総合カタログ

ピラフロン™HENシリーズ_チューブデバイスタイプ熱交換器

資料

取扱要領・説明書

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