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HENシリーズ
チューブデバイスタイプ
継手とコイルチューブの組み合わせによるオールふっ素樹脂製のコンパクトな熱交換器です。 狭い配管内で簡単に薬液の温度調整ができます。
PFA、PTFE
半導体製造装置等、高いクリーン度・耐薬品性が要求される箇所
有効伝熱面積:0.05M2 最大薬液流量:100ML/min 最高薬液冷却前温度:200℃ 熱交換器接続口:スーパー300タイプピラーフィッティング™
ふっ素樹脂製品/バルブ・熱交換器
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