製品詳細
高精度定量ポンプ
特長・仕様
- 型式
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PDシリーズ
- タイプ
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フォトレジスト液対応
高精度定量タイプ - 製品情報
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接液部の部品は全てふっ素樹脂製のため、耐薬品性、耐熱性、クリーン性の高いポンプです。
繰返し吐出精度± 0.005mLを実現し、高精度の薬液塗布を可能にします。
また、粘度は1000cPまで対応しています。 - 主要構成材料
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接液部：PFA、PTFE
- 主要用途
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コータ・デベロッパ装置用
薬液供給装置・洗浄装置の薬液補充用 - 仕様・スペック情報
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使用流体：フォトレジスト液・純水
使用液温度：20～40℃
最大液粘度：1000cP
最大吐出圧力：0.50MPaG
最大吐出量：10mL/shot
繰返し吐出精度：±0.005mL
圧力センサ搭載
※ご使用に際しましては、必ず取扱説明書をお読みください。 - カテゴリ
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ふっ素樹脂製品／ベローズポンプ
総合カタログ
- 高精度定量ポンプ PD-1000R
