製品詳細
スラリーポンプ
特長・仕様
- 型式
-
PCシリーズ
- タイプ
-
CMPプロセス・スラリー用
- 製品情報
-
接液部の部品は全てふっ素樹脂製のため、耐薬品性、耐熱性、クリーン性の高いポンプです。
CMPプロセス・スラリー用途に適した設計の製品です。 - 主要構成材料
-
接液部：PFA、PTFE
- 主要用途
-
スラリー液を使用した薬液供給装置・洗浄装置・CMP装置の循環ライン
- 仕様・スペック情報
-
使用液温度：10～100℃
最大吐出量：12，24，48L/min
供給空気圧力：0.2～0.5MPaG
※ご使用に際しましては、必ず取扱説明書をお読みください。 - カテゴリ
-
ふっ素樹脂製品／ベローズポンプ
総合カタログ
- PCシリーズ CMPプロセス用 スラリーポンプ
CAD
CAD（DXF）
